8 Cleachdaidhean Àbhaisteach de Cho-phàirtean Granite Mionaideach ann an Uidheam Semiconductor

Anns a’ ghnìomhachas leth-chonnsachaidh, far a bheil “nanometer” mar an aonad tomhais àbhaisteach, chan eil ionracas structarail uidheamachd ri cho-rèiteachadh. Mar a bhios nodan sliseagan a’ crìonadh gu 5nm agus nas fhaide, tha an t-iarrtas airson maothachadh crith agus seasmhachd teirmeach a’ ruighinn ìrean fìor àrd. Tha co-phàirtean clach-ghràin mionaideach air gluasad bho bhith nan roghainn àrd-inbhe gu bhith mar an “DNA” riatanach de bhathar-cruaidh saothrachaidh leth-chonnsachaidh.

Mar phrìomh sholaraiche structaran uidheamachd àrd-sheasmhachd, bidh ZHHIMG® a’ dèanamh anailis air na h-ochd tagraidhean as cudromaiche far a bheil clach-ghràin na ghaisgeach sàmhach san fhactaraidh.

1. Bunait Innealan Litografaidh

’S e an inneal litografaidh am pìos uidheamachd as iom-fhillte anns an t-sreath leth-chonnsachaidh. Feumaidh am bonn siostaman optaigeach mòra a chumail suas agus fuireach gu tur socair. Leigidh dùmhlachd àrd agus maothachadh a-staigh clach-ghràin leis meanbh-chreathadh a ghabhail a-steach bhon àrainneachd mun cuairt, a’ dèanamh cinnteach gu bheil an stòr solais fhathast co-thaobhach aig an ìre atamach.

2. Ìrean Gluasad Giùlan Adhair

Feumaidh còmhdhail uaifearan aig astar luath gluasad gun suathadh. Leis gum faodar clach-ghràin a lapadh gu rèidh fo-mhicron, tha e na chom-pàirtiche foirfe airson teicneòlas giùlain adhair. Bidh an “cluasag adhair” a’ gluasad thairis air uachdar a’ chlach-ghràin gun chaitheamh sam bith, a’ toirt seachad an gluasad rèidh a tha a dhìth airson sganadh agus suidheachadh.

3. Àrd-ùrlaran Sgrùdaidh is Meatreòlais Wafer

Às dèidh an gràbhaladh, feumar sgrùdadh a dhèanamh air na wafers airson uireasbhaidhean. Bhiodh leudachadh teirmeach sam bith ann am frèam an inneil ag adhbhrachadh “toradh dearbhach meallta” no lochd nach fhaicear.Co-phàirtean clach-ghràin mionaideachàrainneachd neo-ghnìomhach a thaobh teirm a thoirt seachad, a’ dèanamh cinnteach gu bheil dàta sgrùdaidh na fhìor fhaileas air uachdar an uaifeir, chan e saobhadh an inneil.

4. Siostaman Gluasad Gantry (Structaran Drochaid)

Ann an dìsneadh no ceangal uèir aig astar luath, feumaidh an “drochaid” no an gantry gluasad gu luath gun chrith. Tha gantry clach-ghràin a’ tabhann co-mheas nas fheàrr de stiffness-gu-tomad an taca ri iarann ​​​​tilgte, a’ lughdachadh “ùine socrachaidh” gu mòr - an ùine a dh’ fheumas inneal feitheamh gus an stad crithidhean mus urrainn dha an ath ghnìomh aige a dhèanamh.

bonn tomhais clach-ghràin

5. Frèamaichean Uidheam Càraidh Leusair

Nuair a lorgar lochd air masg no air wafer, thathar a’ cleachdadh leusairean airson càradh mionaideach. Feumaidh seo bunait structarail a tha gu tur neo-mhagnaiteach agus neo-ghiùlain. Tha clach-ghràin gu nàdarrach a’ dìon an aghaidh teas, a’ cur casg air bacadh electromagnetic bho bhith a’ toirt buaidh air slighe fìnealta an leusair.

6. CMM (Innealan Tomhais Co-òrdanaichte) airson Seòmraichean Glan

Feumaidh smachd càileachd taobh a-staigh goireas leth-chonnsachaidh CMMan a sheasas ri protocolaidhean seòmar-glan teann. Eu-coltach ri meatailt, a dh’ fhaodas mìrean a leigeil às no oxidachadh, tha clach-ghràin an aghaidh searbhag agus meirg, a’ cumail suas structar uidheamachd àrd-sheasmhachd gun a bhith a’ truailleadh na h-àrainneachd.

7. Bunaitean Snasadh Ceimigeach Meacanaigeach (CMP)

Tha am pròiseas CMP a’ toirt a-steach slurry agus riochdairean ceimigeach a tha gu math creimneach do mheatailtean. Tha an aghaidh ceimigeach nàdarra a th’ aig clach-ghràin ga dhèanamh na stuth air leth freagarrach airson bunait structarail aonadan snasaidh, a’ dèanamh cinnteach à beatha seirbheis fhada eadhon ann an àrainneachdan ceimigeach cruaidh.

8. Siostaman Ion-chur Ion

Feumaidh àrainneachdan àrd-bholtaids ann an innealan-implantachaidh ian co-phàirtean nach cuir bacadh air gathan ian no nach cruthaich boghaichean dealain. Tha feartan dielectric Granite ga dhèanamh na roghainn shàbhailte agus sheasmhach airson co-phàirtean dealain is falamh mothachail a chuir suas.

Carson ZHHIMG® airson Bun-structar Leth-sheoltairean?

Aig ZHHIMG®, tha sinn a’ tuigsinn gu bheil bunait uidheamachd leth-chonnsachaidh nas motha na dìreach pìos cloiche—is e inneal calabraichte a th’ ann. Leigidh ar clach-ghràin dhubh sònraichte, còmhla ri ar n-eòlas air bleith làimhe còrr is 30 bliadhna, leinn ìrean rèidh agus co-shìnte a choileanadh a choinnicheas ri riatanasan teann na h-ùine fo-micron.

  • Stuth: Clach-ghràin dhubh ZHHIMG® àrd-dùmhlachd, mìn-ghràin.

  • Mionaideachd: Ìrean cruinneas a rèir DIN 876 Ìre 00 no sònrachaidhean JIS / ASME gnàthaichte.

  • Gnàthachadh: Cuir-a-steach aonaichte, sliotan-T, agus slighean giùlain-adhair air an stàladh ro-làimh anns na bùthan-obrach teòthachd seasmhach 10,000m² againn.


Àm puist: 18 Màrt 2026