Ann an raon cinneasachadh gnìomhachais mionaideach agus rannsachadh saidheansail ùr-nodha, tha àrd-ùrlar clach-ghràin leis a’ choileanadh seismeach sàr-mhath aige air a thighinn gu bhith na uidheamachd chudromach gus dèanamh cinnteach à leasachadh rèidh diofar obrachaidhean àrd-chruinneas. Tha an ìre rangachadh dìon-clisgeadh teann aige a’ toirt gealladh earbsach airson mòran shuidheachaidhean obrach a tha air leth mothachail air crith.
An toiseach, bunait dearbhaidh ìre dìon crith-thalmhainn àrd-ùrlar clach-ghràin
Feartan stuthan: Tha àrd-ùrlar clach-ghràin air a dhèanamh de chlach-ghràin nàdarrach, às dèidh milleanan de bhliadhnaichean de phròiseasan geòlais, tha an structar criostail a-staigh air a chur air dòigh gu dlùth agus gu math aonfhoirmeil. Tha an structar sònraichte seo a’ toirt ìre glè ìosal de atharrachadh modulas elastagach don chlach-ghràin, nuair a bhios e fo bhuaidh clisgeadh, an taca ri stuthan cumanta eile leithid meatailt, faodaidh e smachd a chumail air a dhì-dhealbhadh elastagach ann an raon glè bheag. A rèir dearbhadh ionadan deuchainn ùghdarrasach, chan eil an dì-dhealbhadh elastagach de chlach-ghràin anns an àrainneachd deuchainn crith àbhaisteach ach 1/10-1/20 de dhì-dhealbhadh stuthan meatailt àbhaisteach, a tha a’ leagail bunait stuthan làidir airson coileanadh seismeach àrd-ìre an àrd-ùrlair.
Dealbhadh structarail: Bho shealladh macro-structair, tha an àrd-ùrlar clach-ghràin air a dhealbhadh le cumadh geoimeatrach agus cruth taice air a bharrachadh. Tha co-mheas faid-leud-àirde iomlan an àrd-ùrlair air a thomhas gu faiceallach gus meadhan grabhataidh seasmhach a dhèanamh cinnteach agus gus cunnart crith air adhbhrachadh le crith a lughdachadh. Aig an aon àm, tha sgaoileadh nam puingean taice air a dhealbhadh gu saidheansail a rèir phrionnsabalan meacanaig, a dh’ fhaodas cuideam nan nithean a chuirear air an àrd-ùrlar agus an fheachd buaidh a thig bho chreathadh bhon taobh a-muigh a sgaoileadh gu cothromach. Mar eisimpleir, anns an àrd-ùrlar clach-ghràin mhòr, thathas a’ cleachdadh an structar taice ioma-phuing, agus tha am mearachd astar eadar na puingean taice faisg air làimh air a smachdachadh taobh a-staigh ±0.05mm, a sheachnas dùmhlachd cuideam ionadail gu h-èifeachdach agus a leasaicheas comas crith-thalmhainn an àrd-ùrlair tuilleadh.
2. Comharran mionaideach agus suidheachaidhean tagraidh gach ìre dìon-clisgeadh
Inbhe dìon-clisgeadh Ìre I (suidheachaidhean riatanas mionaideachd fìor àrd)
Clàr-amais gluasaid crith: Taobh a-staigh raon tricead crith tonn seismeach samhlaichte (0.1Hz-100Hz), chan eil luach as àirde gluasad crith aig suidheachadh sam bith air uachdar an àrd-ùrlair nas àirde na 0.001mm. Nuair a thèid bacadh a chur air a’ chreathadh ìosal-tricead a thig bho obrachadh innealan mòra mun cuairt (leithid crith inneal trom aig tricead mu 1Hz-10Hz), bidh na h-innealan tomhais optigeach àrd-chruinneas a chuirear air an àrd-ùrlar, leithid maicreasgopaidh feachd atamach, a’ dèanamh cinnteach nach tèid buaidh a thoirt air cruinneas an tomhais aig an nanosgèile.
Suidheachadh tagraidh: Tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann am pròiseas litagrafaidh saothrachadh sliseagan leth-chonnsachaidh. Feumaidh saothrachadh sliseagan cruinneas litagrafaidh air leth àrd, agus tha leud na loidhne air ruighinn ìre nanometer. Anns a’ phròiseas litagrafaidh, feumaidh an àrd-ùrlar clach-ghràin taic sheasmhach a thoirt don inneal litagrafaidh, an crith a thig bho obrachadh uidheamachd eile anns a’ bhùth-obrach a sgaradh, agus dèanamh cinnteach à gluasad ceart a’ phàtrain litagrafaidh, agus mar sin a’ leasachadh toradh saothrachadh sliseagan gu mòr. A rèir staitistig gnìomhachais, tha cleachdadh loidhne saothrachaidh sliseagan a choinnicheas ris an àrd-ùrlar clach-ghràin àbhaisteach dìon-clisgeadh den chiad ìre air an toradh a mheudachadh 15% -20% an taca ri cleachdadh àrd-ùrlaran àbhaisteach.
Inbhe an-aghaidh clisgeadh ìre 2 (suidheachadh àrd-chruinneas)
Clàr-amais gluasaid crith: fo tricead crith 0.1Hz-100Hz, tha an gluasad crith as àirde air uachdar an àrd-ùrlair fo smachd taobh a-staigh 0.005mm. Airson deuchainnean lorg mìrean microscopach a thèid a dhèanamh ann an deuchainn-lannan rannsachaidh saidheansail ann an oilthighean, leithid deuchainnean miocroscop tunail sganaidh (STM), faodaidh an ìre seo de choileanadh dìon-clisgeadh dèanamh cinnteach gu bheil an suidheachadh coimeasach eadar bàrr an STM agus an sampall seasmhach eadhon ged a tha stòran crith àbhaisteach sònraichte ann leithid luchd-obrach a’ gluasad timcheall an obair-lann agus uidheamachd a’ gluasad timcheall an obair-lann. Mar sin, tha fiosrachadh staid cuantamach mìrean microscopach air a ghlacadh gu ceart, a bheir gealladh do luchd-rannsachaidh dàta deuchainneach ceart fhaighinn.
Suidheachadh tagraidh: Air a chleachdadh gu farsaing ann an saothrachadh ionnstramaidean mionaideachd àrd-ìre, leithid pròiseas dì-bhugachaidh cinneasachaidh cothromachaidh dealanach àrd-chruinneas. Tha cothromachaidhean dealanach gu math mothachail air crith, agus faodaidh eadhon crithidhean beaga claonaidhean adhbhrachadh ann an toraidhean tomhais. Faodaidh an àrd-ùrlar clach-ghràin, a choinnicheas ris an ìre dìon-clisgeadh dàrna ìre, àrainneachd sheasmhach a thoirt seachad airson calabrachadh agus coimiseanadh a’ chothromachaidh dealanach, dèanamh cinnteach gu bheil cruinneas tomhais a’ chothromachaidh a’ ruighinn ìre microgram, agus coinneachadh ri iarrtas a’ ghnìomhachais airson cruinneas tomhais cuideam àrd leithid aithneachadh cungaidhean-leigheis agus seudaireachd.
Inbhe trì-ìre dìon-clisgeadh (suidheachadh àrd-chruinneas)
Clàr-amais gluasad crith: anns an raon tricead crith 0.1Hz-100Hz, chan eil gluasad crith as àirde uachdar an àrd-ùrlair nas àirde na 0.01mm. Nuair a bhios e an aghaidh a’ chreathadh a thig bho obrachadh uidheamachd meadhanach mòr a tha cumanta ann am bùth-obrach factaraidh (mar as trice tha an tricead crith 10Hz-50Hz), faodaidh an uidheamachd tomhais àbhaisteach a chuirear air an àrd-ùrlar clach-ghràin, leithid an inneal tomhais co-òrdanachaidh, cruinneas an tomhais a chumail seasmhach, agus tha claonadh an dàta tomhais air a smachdachadh taobh a-staigh raon glè bheag.
Suidheachadh tagraidh: Freagarrach airson tomhas mionaideach ann an saothrachadh phàirtean chàraichean. Tha cruinneas innealachaidh bloc siolandair einnsean chàraichean, gèar tar-chuir agus pàirtean eile a’ toirt buaidh dhìreach air coileanadh agus earbsachd a’ chàir. Ann an tomhas nam pàirtean sin, faodaidh àrd-ùrlar clach-ghràin de na trì coileanadh dìon-clisgeadh crith ruith uidheamachd bùth-obrach a sgaradh gu h-èifeachdach, gus dèanamh cinnteach gu bheil an ionnstramaid tomhais co-òrdanachaidh a’ tomhas meud nam pàirtean, fulangas cruth is suidheachadh agus paramadairean eile gu ceart, gus taic làidir a thoirt do smachd càileachd phàirtean chàraichean, gus ìre pasaidh cinneasachaidh phàirtean chàraichean a leasachadh.
Trì, deuchainnean càileachd teann gus dèanamh cinnteach gu bheil ìre na crith-thalmhainn a’ coinneachadh ris an ìre
Gus dèanamh cinnteach gum faod gach àrd-ùrlar clach-ghràin coinneachadh ris na h-inbhean ìre dìon-crith-thalmhainn co-fhreagarrach, tha sinn air siostam sgrùdaidh càileachd teann agus foirfe a stèidheachadh. Anns a’ phròiseas cinneasachaidh, thèid deuchainn seilbh corporra coileanta a dhèanamh air gach pìos de stuth amh clach-ghràin gus dèanamh cinnteach gu bheil an structar a-staigh aige èideadh agus gun lochdan follaiseach. Às deidh don phròiseasadh àrd-ùrlair a bhith deiseil, thèid an uidheamachd deuchainn atharrais crith adhartach a chleachdadh gus diofar àrainneachdan crith iom-fhillte a shamhlachadh gus an àrd-ùrlar a dhearbhadh. Tron sensor gluasaid laser àrd-chruinneas, thèid sgrùdadh fìor-ùine a dhèanamh air atharrachaidhean gluasaid gach puing air uachdar an àrd-ùrlair rè a’ phròiseas crith, agus thèid an dàta a chuir gu siostam giullachd dàta proifeasanta airson mion-sgrùdadh. Chan fhaodar an cur air a’ mhargaidh ach nuair a tha comharran crith an àrd-ùrlair gu tur a rèir nan inbhean ìre dìon-clisgeadh co-fhreagarrach.
Gus geàrr-chunntas a dhèanamh, tha àrd-ùrlar clach-ghràin leis na h-inbhean ìre saidheansail dìon-clisgeadh aige, coileanadh sàr-mhath dìon-clisgeadh agus smachd càileachd teann, airson obair cinneasachaidh gnìomhachais agus rannsachaidh saidheansail ann an obrachaidhean àrd-chruinneas gus taic sheasmhach riatanach a thoirt seachad, na oidhirp air cruinneas agus earbsachd as fheàrr a thaghadh.
Àm puist: 28 Màrt 2025