Ann an tallachan sàmhach deuchainn-lannan calabrachaidh, seòmraichean-glan leth-chonnsachaidh, agus seòmraichean meatreòlais aerospace, tha ar-a-mach sàmhach a’ dol air adhart. Chan e bathar-bog no mothachairean a-mhàin a tha ga stiùireadh - ach leis na stuthan fhèin a tha a’ cruthachadh bunait an tomhais fhèin. Aig fìor thoiseach an atharrachaidh seo tha ionnstramaidean tomhais ceirmeag adhartach, a’ gabhail a-steach an riaghladair èadhair dìreach ceirmeag a tha gu math seasmhach agus an silicon-carbide (Si-SiC) àrd-chruinneas cruaidh, co-shìnte agus ceàrnagach. Chan e dìreach innealan a tha seo; tha iad nan comasaichean airson linn ùr far nach eil seasmhachd, ath-aithris, agus neodrachd teirmeach ri cho-rèiteachadh.
Airson còrr is leth-cheud bliadhna, bha clach-ghràin dhubh a’ faighinn làmh an uachdair ann am meatrachd mionaideach. Rinn a maothachadh nàdarrach, a leudachadh teirmeach ìosal, agus a rèidhlean sàr-mhath an stuth as fheàrr airson pleitean uachdar, ceàrnagan, agus oirean dìreach. Ach mar a bhios gnìomhachasan a’ putadh a-steach do fhulangas fo-mhicron agus eadhon sgèile nanometer - gu sònraichte ann an litagrafaidheachd leth-chonnsachaidh, optaig fànais, agus coimpiutaireachd cuantamach - tha cuingealachaidhean clach-ghràin air fàs nas follaisiche. Tha e trom, buailteach do mhicro-sliseagan fo cheangal a-rithist is a-rithist, agus, a dh’ aindeoin a chliù, tha e fhathast a’ nochdadh snàgadh beag fad-ùine fo luchd no caochlaideachd àrainneachdail.
Seo agaibh criadhaireachd innleadaichte: chan e criadhaireachd bhriste a tha ri fhaicinn ann am mac-meanmna làitheil, ach stuthan dùmhail, aonghnèitheach, àrd-choileanaidh air an dèanamh fo theas is cuideam anabarrach. Nam measg sin, tha dà chlas a’ seasamh a-mach airson tagraidhean meatreòlais: alumina àrd-ghlanachd (Al₂O₃) agus carbide silicon ceangailte ri ath-bhualadh (Si-SiC). Ged a tha an dà chuid a’ tabhann leasachaidhean mòra air stuthan traidiseanta, tha iad a’ frithealadh dhleastanasan eadar-dhealaichte - agus còmhla, tha iad a’ riochdachadh oir ùr na tha comasach ann am meatreòlas tomhasach.
Mar eisimpleir, gabh riaghladair dìreach adhair ceirmeach. Air a dhealbhadh airson a chleachdadh le ìrean giùlain adhair no eadar-theachdairean optigeach, tha an ionnstramaid seo ag iarraidh dìreachas cha mhòr foirfe, mais as ìsle, agus gun gluasad teirmeach sam bith. Stèidhichte air aluminariaghladairean ceirmeag—air an innealachadh gu rèidh agus dìreach taobh a-staigh ±0.5 µm thairis air 500 mm agus air an snasadh gu garbh-uachdar fo Ra 0.02 µm—a’ lìbhrigeadh dìreach sin. Bidh an dùmhlachd ìosal aca (~3.6 g/cm³) a’ lughdachadh neo-sheasmhachd ann an siostaman tomhais fiùghantach, agus tha an nàdar neo-mhagnaiteach, neo-ghiùlain aca a’ cur às do bhacadh ann an àrainneachdan dealanach no magnetach mothachail. Ann an innealan sgrùdaidh wafer no rèiteachaidhean calabrachaidh tracadh laser, far am faod eadhon micron de bhogha toraidhean a shaobhadh, bidh an riaghladair èadhair dìreach ceirmeag a’ toirt seachad iomradh seasmhach, neo-ghnìomhach a tha fhathast fìor thar atharrachaidhean teòthachd agus cearcallan obrachaidh.
Ach nuair a tha feum air an ìre as àirde de stiffness agus seoltachd teirmeach – leithid ann an co-thaobhadh sgàthan teileasgop fànais no meatrachd chuas laser àrd-chumhachd – bidh innleadairean a’ tionndadh gu co-phàirtean co-shìnte agus ceàrnagach silicon-carbide (Si-SiC) àrd-chruinneas. Tha Si-SiC am measg nan stuthan as stiff a tha aithnichte, le modulas Young nas àirde na 400 GPa – barrachd air trì uiread stàilinn – agus seoltachd teirmeach a tha a’ farpais ri alùmanum. Gu deatamach, faodar a cho-èifeachd leudachaidh teirmeach (CTE) a dhealbhadh gus a bhith co-ionnan ri glainneachan optigeach no wafers silicon, a’ comasachadh leudachadh eadar-dhealaichte faisg air neoni ann an co-chruinneachaidhean tar-chinealach. Cha bhith ceàrnag Si-SiC a thathas a’ cleachdadh mar phrìomh iomradh ann an inneal litografaidh EUV dìreach a’ cumail a chruth – bidh e gu gnìomhach a’ seasamh an aghaidh saobhadh bho theasachadh no crith ionadail.
Chan e a-mhàin an stuth a tha a’ dèanamh nan coileanaidhean seo comasach, ach maighstireachd ann an saothrachadh ionnstramaidean tomhais ceirmeag. Tha innealachadh mionaideach Si-SiC, mar eisimpleir, ag iarraidh cuibhlichean bleith daoimean, àrd-ùrlaran CNC fo-micron, agus pròiseasan lapaidh ioma-ìre air an dèanamh ann an àrainneachdan fo smachd teothachd. Faodaidh eadhon beagan cuideam fuigheallach bho shintearachd neo-iomchaidh leantainn gu lùbadh às dèidh innealachadh. Sin as coireach nach eil ach beagan de luchd-saothrachaidh cruinneil a’ toirt a-steach co-chur stuthan, cruthachadh mionaideach, agus meatreòlas deireannach fo aon mhullach - comas a tha a’ sgaradh riochdairean ìre meatreòlais fìor bho sholaraichean ceirmeag coitcheann.
Aig ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), tha an amalachadh dìreach seo aig cridhe ar misean. Tha na h-ionnstramaidean tomhais ceirmeag againn - a’ gabhail a-steach modailean riaghlaidh dìreach èadhair ceirmeag le teisteanas DIN 874 Ìre AA agus nithean co-shìnte agus ceàrnagach silicon-carbide (Si-Si-C) àrd-chruinneas a ghabhas lorg gu inbhean PTB agus NIST - air an dèanamh ann an seòmraichean-glan ISO Clas 7 a’ cleachdadh protocolaidhean sintering agus crìochnachaidh seilbhe. Bidh gach pàirt a’ faighinn dearbhadh làn eadar-theachd-mheatrach, dearbhadh CMM air fulangas geoimeatrach (cothromachd, co-shìnte, ceart-cheàrnachd), agus deuchainn ionracas uachdar mus tèid a chuir air falbh. Is e an toradh nì ìre-iomraidh nach eil dìreach a’ coinneachadh ri sònrachaidhean - tha e gan sàrachadh gu cunbhalach thar baidsean.
Tha an t-iarrtas airson coileanadh mar sin a’ sìor fhàs. Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, feumaidh siostaman litografaidh EUV agus àrd-NA structaran ailineachaidh a tha seasmhach taobh a-staigh deichean de nanomeatairean thairis air astaran meatair - rud nach gabh a dhèanamh às aonais co-obrachadh teirmeach-meacanaigeach Si-SiC. Ann an aerospace, bidh beingean optigeach saideal air an dèanamh le iomraidhean ceirmeag a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd air orbit a dh’ aindeoin cearcall teirmeach anabarrach. Eadhon ann an raointean a tha a’ tighinn am bàrr leithid lorg tonn grabhataidh no leasachadh cloc atamach, far a bheil seasmhachd ìre picometer cudromach, tha nithean meatreòlais ceirmeag agus Si-SiC a’ sìor fhàs riatanach.
Gu deatamach, tha na h-innealan seo cuideachd a’ dèiligeadh ri seasmhachd agus cosgais iomlan seilbh. Ged a dh’ fhaodadh a’ chiad tasgadh ann am paraileipid silicon-carbide àrd-chruinneas a bhith nas àirde na beatha co-ionann clach-ghràin, faodaidh a bheatha seirbheis a bhith 5–10 tursan nas fhaide ann an àrainneachdan àrd-chleachdaidh. Chan fheum e ola a chuir air, tha e an aghaidh a h-uile fuasgladh agus plasma cumanta, agus chan fheum e ath-chalabrachadh a-riamh air sgàth gabhail a-steach taiseachd - eu-coltach ri iarann tilgte no eadhon cuid de chlach-ghràin. Do mhanaidsearan càileachd a tha ag obair fo inbhean AS9100, ISO 13485, no SEMI, tha an earbsachd seo ag eadar-theangachadh gu dìreach gu ùine downt nas lugha, nas lugha de thoraidhean sgrùdaidh, agus barrachd misneachd luchd-ceannach.
A bharrachd air sin, cha bu chòir dearmad a dhèanamh air eireachdas bòidhchead is practaigeach nan ionnstramaidean seo. Tha ceàrnag Si-SiC snasta a’ deàrrsadh le deàrrsadh meatailteach ach tha e nas truime na stàilinn. Tha riaghladair èadhair ceirmeach dìreach a’ faireachdainn làidir ach a’ togail gun oidhirp - freagarrach airson dearbhadh làimhe ann an àiteachan cumhang. Tha na feartan daonna-meadhanaichte seo cudromach ann an deuchainn-lannan san t-saoghal fhìor far a bheil ergonomics agus furasta an cleachdadh a’ toirt buaidh air sruth-obrach làitheil.
Mar sin, a bheil innealan tomhais ceirmeag ag ath-mhìneachadh cruinneas fìor àrd? Tha am freagairt anns an dàta - agus anns an liosta a tha a’ sìor fhàs de stiùirichean cruinneil a tha gan sònrachadh mar inbhe a-nis. Bho ionadan meatreòlais nàiseanta a’ dearbhadh inbhean faid an ath ghinealaich gu solaraichean Ìre 1 a’ dearbhadh phàirtean dràibhidh EV, tha an t-atharrachadh soilleir: nuair a dh’ fheumar mì-chinnt a lughdachadh, tha earbsa aig innleadairean ann an ceirmeag innleadaichte.
Agus fhad ’s a tha gnìomhachasan a’ leantainn air adhart leis an oidhirp gun stad a dh’ionnsaigh smachd aig sgèile atamach, tha aon fhìrinn a’ fàs do-sheachanta: cha tèid àm ri teachd tomhais a shnaigheadh à clach no a thilgeadh ann am meatailt. Thèid a shintearachd, a bleith, agus a lìomhadh ann an ceirmeag - agus silicon carbide.
Tha ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) na chompanaidh ùr-ghnàthachaidh aithnichte air feadh an t-saoghail ann am fuasglaidhean meatreòlais ceirmeag agus silicon-carbide ultra-chruinn. Le speisealachadh ann an ionnstramaidean tomhais ceirmeag, rùilear dìreach èadhair ceirmeag, agus co-phàirtean co-shìnte agus ceàrnagach silicon-carbide (Si-SiC) àrd-chruinneas, bidh ZHHIMG a’ lìbhrigeadh stuthan làn-theisteanasach, ìre-obair-lann airson tagraidhean leth-chonnsachaidh, aerospace, dìon, agus rannsachadh saidheansail. Le taic bho theisteanasan ISO 9001, ISO 14001, agus CE, tha earbsa aig prìomh iomairtean teicneòlais air feadh an t-saoghail anns na toraidhean againn. Rannsaich am pasgan meatreòlais adhartach againn aigwww.zhhimg.com.
Àm puist: Dùbhlachd-05-2025