Anns an t-saoghal far a bheil farpais làidir ann an saothrachadh taisbeanaidhean adhartach, is tric a thig an diofar eadar ceannardas sa mhargaidh agus seann-fhasanta sìos gu aon fhactar: mionaideachd. Tha saothrachadh agus sgrùdadh sreathan Silicon Poileacriostalach Teòthachd Ìosal (LTPS) - am bunait airson scrionaichean OLED agus LCD àrd-rùn, àrd-choileanaidh - ag iarraidh fulangas a tha a’ putadh crìochan innleadaireachd. Bidh a bhith a’ coileanadh an ìre àrd seo de chruinneas a’ tòiseachadh leis a’ bhunait fiosaigeach den inneal fhèin. Sin as coireach nach e dìreach roghainn dealbhaidh a th’ ann an taghadh bunait inneal clach-ghràin airson uidheamachd Sreath LTPS, ach riatanas bunaiteach.
Tha na pròiseasan a tha an sàs ann an saothrachadh sreathan LTPS, gu sònraichte criostalachadh an leusair agus na ceumannan fotolithografaidh agus tasgadh às dèidh sin, air leth mothachail air fuaim àrainneachdail, a’ gabhail a-steach crithidhean beaga agus gluasadan teirmeach. Fiù ‘s anns an àrainneachd seòmar-glan as mionaidiche fo smachd, faodaidh atharrachaidhean beaga buaidh mhòr a thoirt air toradh agus cunbhalachd an t-sreath. Tha ìre an sgrùdaidh - air a dhèanamh le uidheamachd air leth sofaistigichte gus dèanamh cinnteach gu bheil gach transistor air a chruthachadh gu foirfe - ag iarraidh ìre eadhon nas motha de shlàinte structarail. Is e seo an raon far a bheil bunait inneal Granite airson uidheamachd sgrùdaidh sreathan polysilicon teòthachd ìosal taisbeanaidh pannal còmhnard a’ soirbheachadh gu mòr.
An Riatanas Teirmeach is Fiùghantach airson Sgrùdadh LTPS
Leigidh teicneòlas LTPS le gluasad dealanach nas luaithe, a’ comasachadh transistors nas lugha, nas èifeachdaiche agus a’ leantainn gu taisbeanaidhean le ìrean ùrachaidh iongantach agus caitheamh cumhachd nas ìsle. Ach, tha na structaran a tha an sàs microscopach, air an tomhas ann am micronan. Gus an urrainn don uidheamachd sgrùdaidh iom-fhillte lochdan a lorg, a thomhas agus a sgrùdadh gu ceart, feumaidh an àrd-ùrlar obrachaidh aige a bhith cha mhòr gun ghluasad agus neo-atharrachail a thaobh tomhasan.
Ged a tha stuthan traidiseanta leithid iarann tilgte no stàilinn làidir, tha iad buailteach do leudachadh teirmeach. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach (CTE) airson stàilinn chumanta gu math nas àirde na co-èifeachd leudachaidh teirmeach (CTE) airson clach-ghràin dhubh. Tha seo a’ ciallachadh gum bi àrdachadh beag ann an teòthachd na h-àrainneachd, is dòcha dìreach ceum no dhà, ag adhbhrachadh gum bi structar inneal stàilinn a’ leudachadh agus a’ crìonadh nas dràmataiche. Ann an co-theacsa sgrùdadh sreath, bidh an gluasad teirmeach seo ag adhbhrachadh mhearachdan suidheachaidh, mì-thaobhadh anns an t-slighe optigeach, agus leughaidhean a dh’ fhaodadh a bhith ceàrr a dh’ fhaodadh leantainn gu diùltadh pannalan math no gabhail ri feadhainn lochtach.
Air an làimh eile, tha cleachdadh leabaidh inneil clach-ghràin sònraichte airson uidheamachd LTPS Array a’ toirt seachad àrd-ùrlar le CTE air leth ìosal. Tha an seasmhachd teirmeach seo a’ dèanamh cinnteach gu bheil geoimeatraidh chudromach an inneil - an t-astar eadar an sensor tomhais agus an t-substrate LTPS - seasmhach, a’ leigeil le tomhasan fo-micron cunbhalach, ath-aithriseach a tha riatanach airson smachd càileachd.
Maothachadh agus cruas crith gun choimeas
A bharrachd air seasmhachd teirmeach, tha feartan stuthan nàdarra clach-ghràin a’ tabhann buannachd mhòr ann a bhith a’ riaghladh fheachdan fiùghantach agus crithidhean. Bidh siostaman sgrùdaidh adhartach a’ cleachdadh ìrean àrd-astar agus uidheaman sganaidh sòlaimte a bhios a’ gineadh gluasadan beaga meacanaigeach agus crithidhean. Feumar na feachdan a-staigh seo, còmhla ri fuaim a-muigh bho luchd-làimhseachaidh adhair no innealan faisg air làimh, a neodachadh gu sgiobalta gus casg a chuir air doilleireachd gluasad no neo-sheasmhachd leughaidh.
Tha comas àrd maothachaidh a-staigh clach-ghràin, feart a leigeas leis lùth crith a sgaoileadh gu math nas luaithe na meatailtean, deatamach an seo. Bidh e ag obair mar ghlacadair clisgeadh fulangach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil an inneal a’ socrachadh air ais gu staid de shàmhchair foirfe às deidh gach gluasad. Tha modúl àrd sùbailteachd agus dùmhlachd na cloiche cuideachd a’ cur ri structar gu math teann, a’ lughdachadh gluasad statach fo chuideam siostaman gantry trom, co-chruinneachaidhean optigeach, agus seòmraichean falamh.
Gu bunaiteach, le bhith a’ taghadh bunait inneal clach-ghràin a chaidh a chrìochnachadh gu mionaideach airson tagraidhean LTPS Array, tha innleadairean a’ stèidheachadh bunait a tha seasmhach gu teirmeach, sàmhach gu fuaimneach, agus cruaidh gu structarail. Chan eil an trì-fhillteachd seo de fheartan do-rèiteachail airson na h-amasan toraidh agus toraidh a tha a dhìth airson saothrachadh taisbeanaidh LTPS an latha an-diugh a choileanadh.
Foirfeachd Innleadaireachd bhon Nàdar
Tha an toradh deireannach—bonn an inneil-ghràin—fada bho chlach-chuaraidh gharbh. ’S e sàr-obair meatreòlais a th’ ann, gu tric air a chrìochnachadh gu fulangas a tha air a thomhas anns an raon ìosal-micron no eadhon fo-micron. Bithear a’ cleachdadh dhòighean sònraichte gus dèanamh cinnteach gu bheil an clach-ghràin air a lughdachadh bho chuideam agus gu bheil e gu tur rèidh. Tha an stuth nàdarrach seo, a tha air a ghrinneachadh gu mòr, a’ toirt seachad am plèana fiosrachaidh mu dheireadh an aghaidh a bheil a h-uile co-thaobhadh meacanaigeach is optigeach às dèidh sin air a chalabrachadh.
Do luchd-saothrachaidh uidheamachd sreath LTPS, tha amalachadh clach-ghràin àrd-chruinneas a’ dèanamh cinnteach gum faod na h-innealan aca obrachadh gu leantainneach aig an ìre as àirde de choileanadh, ag eadar-theangachadh gu dìreach gu toradh nas àirde agus taisbeanaidhean de chàileachd nas fheàrr airson margaidh an luchd-cleachdaidh. Tha e na fhianais air an fhìrinn nuair a dh’ fheumas innleadaireachd foirfeachd iomlan, gur e a bhith a’ coimhead ris an stuth nàdarra as seasmhaiche air an talamh a bheir seachad am fuasgladh as earbsaiche.
Àm puist: Dùbhlachd-03-2025