An Ar-a-mach Mionaideach ann an Saothrachadh Semiconductor: Nuair a choinnicheas clach-ghràin ri teicneòlas micron
1.1 Lorgaidhean ris nach robh dùil ann an saidheans stuthan
A rèir aithisg Comann Eadar-nàiseanta Semiconductor SEMI ann an 2023, tha 63% de factaraidhean adhartach an t-saoghail air tòiseachadh a’ cleachdadh bunaitean clach-ghràin an àite àrd-ùrlaran meatailt traidiseanta. Tha a’ chlach nàdarra seo, a tha a’ tighinn bho dhlùthadh magma domhainn san Talamh, ag ath-sgrìobhadh eachdraidh saothrachadh leth-chonnsachaidh air sgàth a feartan fiosaigeach sònraichte:
Buannachd inertia teirmeach: chan eil co-èifeachd leudachaidh teirmeach clach-ghràin 4.5 × 10⁻⁶/℃ ach 1/5 de cho-èifeachd leudachaidh teirmeach stàilinn gun smal, agus tha seasmhachd tomhasach de ± 0.001mm air a chumail suas ann an obair leantainneach an inneil lithagrafaidh.
Feartan maothachaidh crith: tha an co-èifeachd frithidh a-staigh 15 uiread nas àirde na iarann teilgte, a’ gabhail a-steach meanbh-chreathadh uidheamachd gu h-èifeachdach
Nàdar neoni magnetachaidh: cuir às gu tur don mhearachd magnetach ann an tomhas laser
1.2 An turas cruth-atharrachaidh bhon mhèinn chun an fhactaraidh
A’ gabhail bunait riochdachaidh thuigseach ZHHIMG ann an Shandong mar eisimpleir, feumaidh pìos de chlach-ghràin amh a dhol tro:
Innealachadh fìor-mhionaideach: ionad innealachaidh ceangail còig-axis airson 200 uair de mhuileann leantainneach, garbh-uachdar suas gu Ra0.008μm
Làimhseachadh aosachaidh fuadain: 48 uair a thìde de leigeil ma sgaoil cuideam nàdarrach anns a’ bhùth-obrach teòthachd is taiseachd cunbhalach, a leasaicheas seasmhachd an toraidh le 40%
San dàrna àite, faigh fuasgladh air na sia duilgheadasan mionaideachd ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh "fuasgladh creige"
2.1 Sgeama lughdachadh ìre bloighdean wafer
Taisbeanadh cùise: Às dèidh do fhùirneis sliseagan sa Ghearmailt gabhail ris an àrd-ùrlar clach-ghràin fleòdraidh gas againn:
| Trast-thomhas na h-uaife | lùghdachadh ìre chip | leasachadh rèidh |
| 12 òirleach | 67% | ≤0.001mm |
| 18 òirlich | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Sgeama briseadh cruinneas co-thaobhadh litografach
Siostam dìolaidh teòthachd: bidh mothachair ceirmeag leabaithe a’ cumail sùil air caochladair a’ chumaidh ann an àm fìor agus ag atharrachadh claonadh an àrd-ùrlair gu fèin-ghluasadach
Dàta tomhaiste: fo atharrachadh 28 ℃ ± 5 ℃, bidh cruinneas an leabachaidh ag atharrachadh nas lugha na 0.12μm
Àm puist: 24 Màrt 2025