Ann an raointean saothrachadh mionaideach agus rannsachadh saidheansail, tha rèidhleanachd àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin na phrìomh chomharradh gus dèanamh cinnteach à cruinneas uidheamachd. Seo ro-ràdh mionaideach dhut air grunn dhòighean lorg prìomh-shruthach agus na modhan-obrach aca.
I. Modh lorg eadar-theachdair laser
’S e an eadar-theachdair leusair an inneal as fheàrr airson lorg rèidhleanachd àrd-chruinneas. Gabh eadar-theachdair leusair ZYGO GPI XP mar eisimpleir, faodaidh a rùn ruighinn 0.1nm. Nuair a bhios tu a’ dèanamh an lorg, an toiseach co-thaobhadh stòr solais an eadar-theachdair leis an àrd-ùrlar agus roinn uachdar an àrd-ùrlair ann an raointean clèithe 50mm × 50mm. Às deidh sin, chaidh dàta iomall eadar-theachd a chruinneachadh puing air phuing, agus chaidh an dàta a chur ris agus a sgrùdadh a’ cleachdadh poileanam Zernike gus mearachd rèidhleanachd fhaighinn. Tha an dòigh seo iomchaidh airson àrd-ùrlaran àrd-chruinneas agus faodaidh e mearachdan rèidhleanachd ≤0.5μm / m² a lorg. Tha e air a chleachdadh gu cumanta ann an lorg innealan fotolithografaidh agus àrd-ùrlaran innealan tomhais trì-cho-òrdanachaidh àrd-ìre.
Ii. Modh Sreath Ìrean Dealanach
Tha an inneal lorg ìre dealanach sìmplidh ri obrachadh agus gu math èifeachdach. Chaidh an ìre dealanach TESA A2 (le rùn de 0.01μm/m) a thaghadh agus a chur ann an sreath 9 × 9 air feadh stiùireadh axis X/Y an àrd-ùrlair. Le bhith a’ cruinneachadh dàta claonadh gach ìre gu sioncronaich agus an uairsin a’ cleachdadh an dòigh ceàrnagach as lugha airson obrachadh a-mach, faodar an luach rèidh fhaighinn gu ceart. Faodaidh an dòigh seo na suidheachaidhean cuasachd agus cuasachd ionadail den àrd-ùrlar a chomharrachadh gu h-èifeachdach. Mar eisimpleir, faodar caochlaideachd de 0.2μm taobh a-staigh raon 50mm a lorg cuideachd, a tha freagarrach airson lorg luath ann an cinneasachadh mòr.
III. Modh criostail rèidh optaigeach
Tha an dòigh criostail rèidh optaigeach freagarrach airson lorg àrd-ùrlaran le sgìre bheag. Ceangail an criostal rèidh optaigeach gu teann ris an uachdar a tha ri dhearbhadh air an àrd-ùrlar agus thoir sùil air na h-oirean eadar-theachd a chaidh a chruthachadh eatorra fo shoillseachadh stòr solais aon-dathach (leithid lampa sodium). Ma tha na stiallan nan stiallan dìreach co-shìnte, tha e a’ nochdadh deagh rèidhneas. Ma nochdas stiallan lùbte, obraich a-mach mearachd rèidhneas stèidhichte air ìre lùbadh na stiall. Tha gach stiall lùbte a’ riochdachadh eadar-dhealachadh àirde de 0.316μm, agus gheibhear an dàta rèidhneas tro thionndadh sìmplidh.
Ceithir. Modh sgrùdaidh inneal tomhais trì-cho-òrdanachaidh
Faodaidh an inneal tomhais trì-cho-òrdanaichte tomhas àrd-chruinneas a choileanadh ann an àite trì-thaobhach. Cuir an àrd-ùrlar clach-ghràin air bòrd-obrach an inneil tomhais agus cleachd am probe gus dàta a chruinneachadh gu cothromach bho iomadh puing tomhais air uachdar an àrd-ùrlair. Bidh siostam an inneil tomhais a’ giullachd agus a’ sgrùdadh an dàta seo gus aithisg rèidh a chruthachadh den àrd-ùrlar. Chan urrainn don dòigh seo dìreach rèidh a lorg, ach cuideachd paramadairean geoimeatrach eile den àrd-ùrlar fhaighinn aig an aon àm, agus tha e freagarrach airson lorg coileanta àrd-ùrlaran clach-ghràin mòra.
Faodaidh maighstireachd nan dòighean lorg seo do chuideachadh le bhith a’ measadh gu ceart dè cho rèidh ‘s a tha àrd-ùrlar mionaideachd a’ ghràin agus gealltanas earbsach a thoirt seachad airson obrachadh seasmhach uidheamachd mionaideachd.
Àm puist: 29 Cèitean 2025