Ann an raon saothrachaidh àrd-inbhe agus rannsachadh saidheansail ùr-nodha, tha modúl gluasad ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair air a thighinn gu bhith na uidheamachd chudromach airson obrachadh agus tomhas grinn leis a’ choileanadh mionaideachd sàr-mhath aige. Tha riatanasan teann aig bunait mionaideachd clach-ghràin, mar chridhe taice, airson na h-àrainneachd obrach, agus tha na suidheachaidhean àrainneachdail iomchaidh mar bhunait gus dèanamh cinnteach à a choileanadh seasmhach agus a’ bhuaidh as fheàrr.
An toiseach, smachd teothachd: "cobhsaichear" mionaideach
Ged a tha clach-ghràin ainmeil airson a sheasmhachd, chan eil i gu tur dìonach bho atharrachaidhean teòthachd. Ged a tha a cho-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal, mar as trice 5-7 ×10⁻⁶/℃, ann an suidheachaidhean smachd gluasad fìor mhionaideach, faodaidh atharrachaidhean beaga ann an teòthachd atharrachaidhean meudach adhbhrachadh agus buaidh a thoirt air cruinneas a’ mhodail. Anns a’ bhùth-obrach saothrachaidh sliseagan leth-chonnsachaidh, feumaidh am pròiseas litografaidh cruinneas suidheachaidh aig ìre danami, agus bidh an teòthachd mun cuairt ag atharrachadh 1 ° C, agus faodaidh bonn clach-ghràin le fad taobh de 1 meatair leudachadh no giorrachadh loidhneach de 5-7 microns a thoirt gu buil. Tha an t-atharrachadh beag seo air a thar-chuir leis a’ mhodal gluasad fìor mhionaideach den t-snàmh adhair, a tha gu leòr gus pàtran litografaidh a’ chip a dhèanamh a’ gluasad agus an toradh a lughdachadh gu mòr. Mar sin, ma tha am modúl gluasad ultra-mhionaideach fleòdraidh adhair uidheamaichte le bonn mionaideachd clach-ghràin, bu chòir an teòthachd àrainneachd obrach air leth a bhith air a smachdachadh aig 20 ° C ± 1 ° C, le cuideachadh bho uidheamachd teòthachd seasmhach àrd-mhionaideach, leithid siostam fionnarachaidh-àile teòthachd is taiseachd seasmhach, sgrùdadh leantainneach agus atharrachadh teòthachd na h-àrainneachd, gus dèanamh cinnteach gu bheil na h-atharrachaidhean teòthachd ann an raon glè bheag, a’ cumail seasmhachd meud a’ bhunait, gus dèanamh cinnteach gu bheil am modúl ag obrachadh gu mionaideach.
San dàrna àite, riaghladh taiseachd: an iuchair airson dìon taiseachd "clach"
Tha taiseachd na fheart cudromach eile a bheir buaidh air coileanadh bunait clach-ghràin mhionaideach. Ann an àrainneachd àrd taiseachd, tha clach-ghràin furasta ceò uisge a ghabhail a-steach, agus dh’ fhaodadh sin leantainn gu dùmhlachd air an uachdar, a bheir buaidh chan ann a-mhàin air seasmhachd ceangail a’ chlach-ghràin agus modúl gluasad ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair, ach dh’ fhaodadh e cuideachd bleith uachdar adhbhrachadh agus gleans agus cruinneas a lughdachadh san fhad-ùine. Anns a’ bhùth-obrach bleith lionsan optigeach, ma tha an taiseachd nas àirde na 60% RH airson ùine mhòr, cuiridh an ceò uisge a thèid a ghlacadh air uachdar bunait a’ chlach-ghràin bacadh air gluasad sleamhnachan an t-snàmhadair gas, agus mar sin bidh cruinneas bleith lionsan air a lughdachadh, agus bidh an uachdar lochtach. Mar sin, bu chòir smachd teann a chumail air taiseachd coimeasach na h-àrainneachd obrach eadar 40% -60% RH, agus faodar sùil a chumail air agus atharrachadh ann an àm fìor le bhith a’ stàladh dì-taiseadairean, mothachairean taiseachd agus uidheamachd eile gus casg a chuir air milleadh air bunait a’ chlach-ghràin mar thoradh air taiseachd àrd, agus gus dèanamh cinnteach à obrachadh rèidh modúl gluasad ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair.
San treas àite, gealladh glanaidh: "neach-dìon" mionaideachd
Chan urrainnear dì-meas a dhèanamh air cron mìrean duslach air bonn clach-ghràin mhionaideach modúl gluasad ultra-mhionaideach snàmh adhair. Cho luath ‘s a thèid na mìrean beaga bìodach a-steach don bheàrn film gas eadar sleamhnag snàmh gas agus bonn clach-ghràin, faodaidh iad cunbhalachd film a’ ghasa a mhilleadh, suathadh a mheudachadh, agus eadhon uachdar a’ bhunait a sgrìobadh, agus mar thoradh air sin bidh cruinneas gluasaid nas lugha ann. Anns a’ bhùth-obrach innealachaidh ultra-mhionaideach de phàirtean aerospace, ma thuiteas na mìrean duslach san adhar air bonn clach-ghràin, faodaidh slighe gluasaid an inneil innealachaidh a bhith air a chlaonadh, a’ toirt buaidh air cruinneas innealachaidh nam pàirtean. Mar sin, bu chòir an raon obrach a chumail glan gu mòr, a’ ruighinn ìrean glanaidh 10,000 no eadhon nas àirde, tro bhith a’ stàladh uidheamachd glanaidh adhair, leithid sìoltachain adhair àrd-èifeachdais (HEPA), a’ sìoladh a-mach na mìrean duslach san adhar, aig an aon àm, feumaidh luchd-obrach aodach gun duslach, còmhdach bhrògan, msaa., a chaitheamh, gus an duslach a thig bho dhaoine a lughdachadh. Cùm àrainneachd obrachaidh àrd-mhionaideach bonn clach-ghràin agus modúl gluasad ultra-mhionaideach snàmh adhair.
Ceithir, dealachadh crith: obrachadh rèidh an "pad clisgeadh"
’S e crith bhon taobh a-muigh nàmhaid mionaideachd modúl gluasaid ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair. Ged a tha comas lughdachadh crith sònraichte aig bonn clach-ghràin mhionaideach, faodaidh crith àrd-neart a chrìoch maothachaidh a bhriseadh fhathast. Tha crith a thig bhon trafaic timcheall air an fhactaraidh agus obrachadh uidheamachd meacanaigeach mhòr air a thar-chuir chun bhunait chlach-ghràin tron talamh, a chuireas bacadh air cruinneas gluasad modúl gluasaid ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair. Ann an CMM àrd-inbhe, faodaidh crith adhbhrachadh gum bi an conaltradh eadar an probe tomhais agus am pìos obrach a thèid a thomhas neo-sheasmhach, agus mar thoradh air sin bidh dàta an tomhais a’ dol à bith. Gus an duilgheadas seo fhuasgladh, feumar ceumannan èifeachdach a ghabhail os làimh airson crith a sgaradh, leithid padaichean sgaradh crith a chuir sìos anns an raon stàlaidh uidheamachd, bunait sgaradh crith a thogail, no siostam sgaradh crith gnìomhach a chleachdadh gus crith bhon taobh a-muigh a chothromachadh gu gnìomhach, agus àrainneachd obrach shàmhach is sheasmhach a chruthachadh airson bonn mionaideachd a’ chlach-ghràin agus modúl gluasad ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair.
Is ann dìreach le bhith a’ coinneachadh gu h-iomlan ri riatanasan àrainneachdail teòthachd, taiseachd, glanachd agus smachd crith, as urrainn don bhunait mionaideachd clach-ghràin de mhodal gluasad ultra-mhionaideach an t-snàmhadair adhair làn chluich a dhèanamh de na buannachdan coileanaidh aige, gealltanas earbsach a thoirt seachad airson obrachaidhean ultra-mhionaideach ann an diofar raointean, agus cuideachadh a thoirt don ghnìomhachas gluasad a dh’ionnsaigh ìre saothrachaidh agus rannsachaidh saidheansail nas àirde.
Àm puist: 8 Giblean 2025