Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, ’s e inneal cudromach a th’ anns an inneal fotolithografaidh a bhios a’ dearbhadh cruinneas nan sgoltagan, agus tha bunait a’ chlach-ghràin, leis na iomadh feart aige, air a thighinn gu bhith na phàirt riatanach den inneal fotolithografaidh.
Seasmhachd teirmeach: An "Sgiath" an aghaidh Atharrachaidhean Teòthachd
Nuair a bhios inneal fotolithografaidh ag obair, bidh e a’ gineadh tòrr teas. Faodaidh eadhon atharrachadh teòthachd de dìreach 0.1℃ deformachadh adhbhrachadh air pàirtean an uidheim agus buaidh a thoirt air cruinneas fotolithografaidh. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach clach-ghràin gu math ìosal, dìreach 4-8 × 10⁻⁶/℃, a tha timcheall air 1/3 de leudachadh stàilinn agus 1/5 de leudachadh alùmanum. Leigidh seo leis a’ bhunait clach-ghràin seasmhachd tomhasach a chumail suas nuair a bhios an inneal fotolithografaidh ag obair airson ùine mhòr no nuair a dh’atharraicheas teòthachd na h-àrainneachd, a’ dèanamh cinnteach à suidheachadh ceart phàirtean optigeach agus structaran meacanaigeach.
Coileanadh sàr-mhath an-aghaidh crith: An "spong" a bhios a’ gabhail a-steach crith
Ann am factaraidh leth-chonnsachaidh, faodaidh obrachadh uidheamachd mun cuairt agus gluasad dhaoine crithidhean a chruthachadh. Tha dùmhlachd àrd agus inneach cruaidh aig clach-ghràin, agus tha feartan maothachaidh sàr-mhath aice, le co-mheas maothachaidh 2 gu 5 uiread nas motha na meatailtean. Nuair a thèid crithidhean bhon taobh a-muigh a thar-chur chun bhunait clach-ghràin, bidh an suathadh eadar criostalan mèinnearach a-staigh ag atharrachadh lùth a’ chreathaidh gu lùth teas airson sgaoileadh, agus faodaidh seo an crith a lughdachadh gu mòr ann an ùine ghoirid, a’ leigeil leis an inneal fotolithografaidh seasmhachd ath-nuadhachadh gu sgiobalta agus casg a chuir air doilleireachd no mì-thaobhadh pàtran a’ fotolithografaidh air sgàth crith.
Seasmhachd cheimigeach: "Neach-dìon" Àrainneachd Ghlan
Bidh taobh a-staigh inneal fotolithografaidh a’ tighinn an conaltradh ri diofar mheadhanan ceimigeach, agus tha stuthan meatailt àbhaisteach buailteach do chreimeadh no leigeil ma sgaoil mìrean. Tha clach-ghràin air a dhèanamh suas de mhèinnirean leithid grian-chlach agus feldspar. Tha feartan ceimigeach seasmhach aige agus strì làidir an aghaidh creimeadh. Às deidh dha a bhith air a bogadh ann am fuasglaidhean searbhagach is alcalach, tha an creimeadh uachdar glè bheag. Aig an aon àm, chan eil an structar dùmhail aige a’ gineadh cha mhòr sprùilleach no duslach sam bith, a’ coinneachadh ri riatanasan nan inbhean seòmar-glan as àirde agus a’ lughdachadh cunnart truailleadh wafer.
Atharrachadh giollachd: An "stuth air leth freagarrach" airson comharran-tomhais mionaideach a chruthachadh
Feumar prìomh phàirtean an inneil fotolithografaidh a stàladh air uachdar fiosrachaidh àrd-chruinneas. Tha structar a-staigh clach-ghràin èideadh agus tha e furasta a phròiseasadh gu mionaideachd fìor àrd tro bhith ga bleith, ga snasadh agus a’ cleachdadh dhòighean eile. Faodaidh a rèidhleanachd ruighinn ≤0.5μm/m, agus tha garbhlachd an uachdair Ra ≤0.05μm, a’ toirt bunait stàlaidh mionaideach airson pàirtean leithid lionsan optigeach.
Fad-beatha fhada agus gun chumail suas: Na "h-innealan biorach" airson cosgaisean a lughdachadh
An coimeas ri stuthan meatailt a tha buailteach do sgìths agus sgàineadh thar cleachdadh fad-ùine, is gann gun tèid clach-ghràin a dhì-dhealbhadh no a bhriseadh fo luchdan àbhaisteach, agus chan fheum i làimhseachadh uachdar, agus mar sin a’ seachnadh cunnart rùsgadh agus truailleadh a’ chòta. Ann an cleachdaidhean practaigeach, às dèidh iomadh bliadhna de chleachdadh, faodaidh prìomh chomharran coileanaidh bunait clach-ghràin fuireach seasmhach, a’ lughdachadh chosgaisean obrachaidh is cumail suas an uidheim.
Bho sheasmhachd teirmeach, strì an aghaidh crith gu neo-ghnìomhachd cheimigeach, tha na feartan iomadach aig bonn clach-ghràin a’ coinneachadh gu foirfe ri riatanasan an inneil fotolithografaidh. Mar a bhios am pròiseas saothrachaidh sliseagan a’ leantainn air adhart a’ leasachadh a dh’ionnsaigh cruinneas nas àirde, cumaidh bunaitean clach-ghràin orra a’ cluich pàirt do-sheachanta ann an raon saothrachadh leth-chonnsachaidh.
Àm puist: 20 Cèitean 2025