Ann an raointean leithid saothrachadh leth-chonnsachaidh agus ionnstramaidean tomhais mionaideach, tha cruinneas àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin a’ dearbhadh càileachd obrachaidh an uidheamachd gu dìreach. Gus dèanamh cinnteach gu bheil cruinneas an àrd-ùrlair a’ coinneachadh ris na h-inbhean, bu chòir oidhirpean a dhèanamh bho dhà thaobh: lorg phrìomh chomharran agus gèilleadh ri norman àbhaisteach.
Lorgaireachd chomharran cridhe: Smachd ioma-thaobhach air cruinneas
Lorgaireachd rèidh: A’ dearbhadh “rèidh” a’ phlèana iomraidh
’S e rèidhleanachd prìomh chomharradh àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin, agus mar as trice bidh e air a thomhas le eadar-theachdairean laser no ìrean dealain. Faodaidh an eadar-theachdair laser na tonnan beaga bìodach air uachdar an àrd-ùrlair a thomhas gu mionaideach le bhith a’ leigeil a-mach gath laser agus a’ cleachdadh prionnsapal eadar-theachd solais, le cruinneas a’ ruighinn ìre fo-micron. Bidh an ìre dealain a’ tomhas le bhith a’ gluasad grunn thursan agus a’ tarraing mapa cumadh trì-thaobhach de uachdar an àrd-ùrlair gus faighinn a-mach a bheil beàrn no claisean ionadail ann. Mar eisimpleir, feumaidh rèidhleanachd de ±0.5μm/m a bhith aig na h-àrd-ùrlaran clach-ghràin a thathas a’ cleachdadh ann an innealan fotolithografaidh leth-chonnsachaidh, a’ ciallachadh nach bu chòir an diofar àirde taobh a-staigh fad 1-meatair a bhith nas àirde na leth mhicromeatair. Chan urrainnear an ìre teann seo a dhèanamh cinnteach ach tro uidheamachd lorg àrd-chruinneas.
2. Lorgaireachd dìreach: Dèan cinnteach gu bheil gluasad loidhneach "dìreach"
Airson àrd-ùrlaran a bhios a’ giùlan phàirtean gluasadach mionaideach, tha dìreachas deatamach cudromach. Is e an dòigh uèir no an co-chothromaiche laser na dòighean cumanta airson lorg. Tha an dòigh uèir a’ toirt a-steach crochadh uèirichean stàilinn àrd-chruinneas agus coimeas a dhèanamh eadar a’ bheàrn eadar uachdar an àrd-ùrlair agus na uèirichean stàilinn gus an dìreachas a dhearbhadh. Bidh an co-chothromaiche laser a’ cleachdadh feartan iomadachaidh loidhneach laser gus mearachd loidhneach uachdar stàlaidh rèile-treòrachaidh an àrd-ùrlair a lorg. Mura coinnich an dìreachas ris an ìre, bheir e air an uidheamachd gluasad rè gluasad, a’ toirt buaidh air cruinneas a’ ghiullachd no an tomhais.
3. Lorgaireachd garbh-uachdar: Dèan cinnteach à "mìneachadh" conaltraidh
Bidh garbh-chruth uachdar an àrd-ùrlair a’ toirt buaidh air mar a bhios na pàirtean air an stàladh. San fharsaingeachd, thathar a’ cleachdadh meatair garbh-chruth peann-steallaidh no miocroscop optaigeach airson lorg. Bidh an inneal seòrsa peann-steallaidh a’ clàradh atharrachaidhean àirde pròifil a’ mhicreascop le bhith a’ conaltradh ri uachdar an àrd-ùrlair le probe mìn. Faodaidh miocroscopan optaigeach inneach an uachdair fhaicinn gu dìreach. Ann an tagraidhean àrd-chruinneas, feumar garbh-chruth uachdar àrd-ùrlaran clach-ghràin a smachdachadh aig Ra≤0.05μm, a tha co-ionann ri buaidh sgàthan, a’ dèanamh cinnteach gu bheil pàirtean mionaideach a’ freagairt gu teann rè an stàlaidh agus a’ seachnadh crith no gluasad air adhbhrachadh le beàrnan.
Seo na h-inbhean mionaideachd: gnàthasan eadar-nàiseanta agus smachd a-staigh na h-iomairt
An-dràsta, gu h-eadar-nàiseanta, thathas a’ cleachdadh inbhean ISO 25178 agus GB/T 24632 gu cumanta mar bhunait airson cruinneas àrd-ùrlaran clach-ghràin a dhearbhadh, agus tha seòrsachadh soilleir ann airson comharran leithid rèidhleanachd agus dìreachas. A bharrachd air an sin, bidh iomairtean saothrachaidh àrd-ìre gu tric a’ suidheachadh inbhean smachd a-staigh nas cruaidhe. Mar eisimpleir, tha an riatanas rèidhleanachd airson àrd-ùrlar clach-ghràin an inneil fotolithografaidh 30% nas àirde na an inbhe eadar-nàiseanta. Nuair a thathar a’ dèanamh dheuchainnean, bu chòir an dàta tomhaiste a choimeas ris na h-inbhean co-fhreagarrach. Chan urrainn ach àrd-ùrlaran a tha a’ gèilleadh gu h-iomlan ris na h-inbhean dèanamh cinnteach à coileanadh seasmhach ann an uidheamachd mionaideach.
’S e pròiseact siostamach a th’ ann a bhith a’ sgrùdadh cruinneas àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin. Is ann dìreach le bhith a’ dèanamh deuchainn teann air prìomh chomharran leithid rèidhleanachd, dìreachas, agus garbhlachd uachdar, agus a’ cumail ri inbhean eadar-nàiseanta agus iomairt, as urrainnear cruinneas agus earbsachd àrd an àrd-ùrlair a ghealltainn, a’ leagail bunait làidir airson raointean saothrachaidh àrd-inbhe leithid leth-chonnsachaidhean agus ionnstramaidean mionaideachd.
Àm puist: 21 Cèitean 2025