Tha luach tagraidh do-sheachanta aig àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin, leis an teannachadh àrd, an co-èifeachd leudachaidh ìosal, an coileanadh maothachaidh sàr-mhath agus na feartan nàdarra an-aghaidh magnetachd, ann an raointean saothrachaidh àrd-ìre agus rannsachaidh saidheansail far a bheil iarrtas mòr air cruinneas agus seasmhachd. Seo na prìomh shuidheachaidhean tagraidh agus na buannachdan teicnigeach aige:
I. Raon uidheamachd giullachd ultra-chruinneas
Uidheam saothrachaidh leth-sheoltairean
Suidheachaidhean tagraidh: bòrd obair-obrach inneal lithagrafaidh, bonn inneal dìsneachaidh wafer, àrd-ùrlar suidheachaidh uidheamachd pacaidh.
Luach teicnigeach:
Chan eil co-èifeachd leudachaidh teirmeach clach-ghràin ach (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, agus faodaidh seo seasamh an aghaidh atharrachadh teòthachd rè nochdadh nanosgèile an inneil lithagrafaireachd (mearachd gluasaid <0.1nm ann an àrainneachd de ±0.1℃).
Bidh an structar meanbh-phorach a-staigh a’ cruthachadh maothachadh nàdarrach (co-mheas maothachaidh 0.05 gu 0.1), a’ cur bacadh air a’ chreathadh (leud < 2μm) rè gearradh aig astar àrd leis an inneal dìsneachaidh agus a’ dèanamh cinnteach gu bheil garbh-oir Ra de ghearradh an uafair nas lugha na 1μm.
2. Innealan Bleith Mionaideach agus Innealan Tomhais Co-òrdanachaidh (CMM)
Cùis tagraidh:
Tha bun an inneil tomhais trì-cho-òrdanachaidh a’ gabhail ri structar clach-ghràin amalaichte, le rèidhleanachd de ±0.5μm/m. Còmhla ris an rèile-iùil fleòdraidh-adhair, bidh e a’ coileanadh cruinneas gluasaid nano-ìre (cruinneas suidheachaidh ath-aithris ±0.1μm).
Tha bòrd-obrach an inneil bleith optaigeach air a dhèanamh suas de structar measgaichte de chlach-ghràin agus stàilinn airgid. Nuair a thathar a’ bleith glainne K9, tha tonnachd an uachdair nas lugha na λ/20 (λ=632.8nm), a’ coinneachadh ri riatanasan giullachd rèidh lionsan laser.
Ii. Raon Optaigs agus Fotonaigs
Teileasgopan reul-eòlais agus siostaman laser
Tagraidhean àbhaisteach:
Tha àrd-ùrlar taic uachdar meòrachaidh an teileasgop rèidio mhòir a’ gabhail ri structar cìr-mheala clach-ghràin, a tha aotrom ann am fèin-chuideam (dùmhlachd 2.7g/cm³) agus aig a bheil strì làidir an aghaidh crith gaoithe (deformachadh <50μm fo ghaoth 10-ìre).
Bidh àrd-ùrlar optaigeach an eadar-theachdair laser a’ cleachdadh clach-ghràin meanbh-phorach. Tha an sgàileadair air a shuidheachadh le adsorption falamh, le mearachd rèidh nas lugha na 5nm, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd dheuchainnean optaigeach fìor-mhionaideach leithid lorg tonn grabhataidh.
2. Giullachd phàirtean optaigeach mionaideach
Buannachdan teicnigeach:
Tha an treòiteachd magnetach agus an giùlan dealain aig àrd-ùrlar a’ chlach-ghràin faisg air neoni, a’ seachnadh buaidh bacadh electromagnetic air pròiseasan mionaideach leithid snasadh beam ian (IBF) agus snasadh magnetorheological (MRF). Faodaidh luach PV cruinneas cumadh uachdar an lionsa asphical a chaidh a phròiseasadh ruighinn λ/100.
III. Sgrùdadh Aerospace agus Mionaideachd
Àrd-ùrlar sgrùdaidh phàirtean itealain
Suidheachaidhean tagraidh: Sgrùdadh trì-thaobhach air lannan itealain, tomhas fulangas cumadh is suidheachadh phàirtean structarail alùmanum itealain.
Prìomh choileanadh:
Tha uachdar an àrd-ùrlair clach-ghràin air a làimhseachadh le creimeadh electrolytic gus pàtrain mìne a chruthachadh (le garbh-chruth Ra 0.4-0.8μm), freagarrach airson proban brosnachaidh àrd-chruinneas, agus tha mearachd lorg pròifil na lann nas lugha na 5μm.
Faodaidh e seasamh ri luchd de chòrr air 200kg de phàirtean itealain, agus tha an t-atharrachadh rèidh às deidh cleachdadh fad-ùine nas lugha na 2μm / m, a’ coinneachadh ri riatanasan cumail suas mionaideach Ìre 10 ann an gnìomhachas an itealain.
2. Calabrachadh phàirtean seòlaidh neo-ghluasadach
Riatanasan teicnigeach: Feumaidh calabrachadh statach innealan inertial leithid gyroscopan agus accelerometers àrd-ùrlar iomraidh ultra-sheasmhach.
Fuasgladh: Tha an àrd-ùrlar clach-ghràin air a chur còmhla ri siostam dealachaidh crith gnìomhach (tricead nàdarrach < 1Hz), a’ coileanadh calabrachadh àrd-chruinneas de sheasmhachd neoni-cho-fhreagarrachd phàirtean inertial < 0.01°/h ann an àrainneachd le luathachadh crith < 1 × 10⁻⁴g.
Iv. Nanoteicneòlas agus Bith-leighis
Àrd-ùrlar miocroscop sganaidh-probe (SPM)
Prìomh ghnìomh: Mar bhunait airson microscopaidh feachd atamach (AFM) agus microscopaidh tunail sganaidh (STM), feumar a sgaradh bho chreathadh àrainneachdail agus gluasad teirmeach.
Comharran coileanaidh:
Faodaidh an àrd-ùrlar clach-ghràin, còmhla ri casan dealachaidh crith niùmatach, an ìre tar-chuir de chreathadh bhon taobh a-muigh (1-100Hz) a lughdachadh gu nas lugha na 5%, a’ coileanadh ìomhaighean aig ìre atamach de AFM san àrainneachd àileach (rùn < 0.1nm).
Tha an cugallachd teòthachd nas lugha na 0.05μm/℃, a choinnicheas ris na riatanasan airson amharc nanosgèile air sampallan bith-eòlasach ann an àrainneachd teòthachd seasmhach (37℃±0.1℃).
2. Uidheam pacaidh biochip
Cùis tagraidh: Bidh an àrd-ùrlar co-thaobhadh àrd-chruinneas airson sgoltagan sreath DNA a’ cleachdadh rèilichean stiùiridh clach-ghràin a bhios a’ fleòdradh san adhar, le cruinneas suidheachaidh de ±0.5μm, a’ dèanamh cinnteach à ceangal fo-micron eadar an sianal microfluidic agus an electrod lorg.
V. Suidheachaidhean Iarrtais a tha a’ tighinn am bàrr
Bunait uidheamachd coimpiutaireachd cuantamach
Dùbhlain theicnigeach: Feumaidh làimhseachadh qubit teòthachd fìor ìosal (ìre mK) agus àrainneachd mheacanaigeach fìor sheasmhach.
Fuasgladh: Faodaidh feart leudachaidh teirmeach anabarrach ìosal clach-ghràin (ìre leudachaidh < 1ppm bho -200 ℃ gu teòthachd an t-seòmair) a bhith co-ionnan ri feartan crìonadh magnets superconductive aig teòthachd anabarrach ìosal, a’ dèanamh cinnteach à cruinneas co-thaobhadh rè pacadh sgoltagan cuantamach.
2. Siostam Lithografaidh Gath-electron (EBL)
Prìomh choileanadh: Tha feart inslitheachaidh àrd-ùrlar a’ chlach-ghràin (strì an aghaidh > 10¹³Ω · m) a’ cur casg air sgapadh gathan dealanach. Còmhla ris an draibhear dealgan electrostatach, bidh e a’ coileanadh sgrìobhadh phàtran litografaidh àrd-chruinneas le leud loidhne nanosgèile (< 10nm).
Geàrr-chunntas
Tha cleachdadh àrd-ùrlaran mionaideachd clach-ghràin air leudachadh bho innealan mionaideachd traidiseanta gu raointean ùr-nodha leithid nanoteicneòlas, fiosaig cuantamach, agus bith-leighis. Tha a phrìomh cho-fharpaiseachd na laighe anns a’ cheangal domhainn eadar feartan stuthan agus riatanasan innleadaireachd. San àm ri teachd, le amalachadh theicneòlasan neartachaidh co-dhèanta (leithid nano-cho-dhèantan grafaen-clach-ghràin) agus teicneòlasan mothachaidh tuigseach, bidh àrd-ùrlaran clach-ghràin a’ briseadh troimhe ann an stiùiridhean cruinneas aig ìre atamach, seasmhachd làn raon teòthachd, agus amalachadh ioma-ghnìomhach, a’ fàs mar na prìomh phàirtean bunaiteach a tha a’ toirt taic don ath ghinealach de saothrachadh ultra-mhionaideach.
Àm puist: 28 Cèitean 2025