Dè na pàirtean den t-siostam gluasaid wafer a thathas a’ cleachdadh stuthan clach-ghràin?

Tha stuthan clach-ghràin air an cleachdadh gu farsaing anns a’ ghnìomhachas semiconductor air sgàth na feartan sàr-mhath aca, leithid seasmhachd àrd, leudachadh teirmeach ìosal, agus strì an aghaidh creimeadh.Tha na togalaichean sin a’ dèanamh clach-ghràin na stuth air leth freagarrach airson co-phàirtean àrd-chruinneas a thogail ann an siostam gluasaid wafer.

Anns a’ phròiseas saothrachaidh semiconductor, tha àite deatamach aig an t-siostam gluasaid wafer ann a bhith a’ giùlan wafers thairis air diofar ìrean den phròiseas saothrachaidh.Is e cruinneas agus mionaideachd na riatanasan riatanach airson na siostaman sin oir dh’ fhaodadh eadhon gluasadan beaga am pròiseas gu lèir a chuir an cunnart.Mar sin, feumaidh na pàirtean san t-siostam gluasaid wafer a bhith air an dèanamh de stuthan àrd-inbhe, agus tha clach-ghràin a ’coinneachadh ris na slatan-tomhais sin.

Am measg cuid de phàirtean den t-siostam gluasaid wafer a tha air an dèanamh le stuthan clach-ghràin tha:

1. Clàr Vacuum Chuck

Thathas a’ cleachdadh a’ bhòrd chuck falamh airson an wafer a chumail tron ​​phròiseas, agus feumaidh uachdar seasmhach a bhith aige gus dèanamh cinnteach nach tèid an wafer a mhilleadh.Tha clach-ghràin na stuth air leth freagarrach airson a’ bhòrd seo a dhèanamh oir tha uachdar còmhnard, neo-porous aige a bheir seachad seasmhachd àrd agus mionaideachd.A bharrachd air an sin, tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal aig clach-ghràin, ga fhàgail seasmhach ri atharrachaidhean teothachd a dh’ fhaodadh atharrachaidhean meudach adhbhrachadh anns an wafer.

2. Air-Bearing Ìre

Tha an ìre giùlan èadhair air a chleachdadh gus an wafer a ghiùlan tro dhiofar ìrean den phròiseas saothrachaidh.Tha an àrd-ùrlar innleachadh gus gluasad gun suathadh a thoirt seachad, a dh’ fheumas àrd mionaideachd agus seasmhachd.Bithear a’ cleachdadh clach-ghràin san tagradh seo leis gur e clach chruaidh agus chruaidh a th’ ann, agus tha e a’ seasamh an aghaidh deformachadh agus caitheamh thar ùine.

3. Stiùiridhean Gluasad Sreathach

Thathas a’ cleachdadh na stiùiridhean gluasad sreathach gus an ìre giùlan adhair a stiùireadh, agus feumaidh iad a bhith air an suidheachadh gu ceart gus mearachdan a lughdachadh.Bithear a’ cleachdadh clach-ghràin airson an iùl seo a thogail leis gu bheil seasmhachd agus neart meacanaigeach sàr-mhath aige.Tha an stuth cuideachd an aghaidh creimeadh, a nì cinnteach gum bi an siostam treòrachaidh fad-beatha.

4. Uidheam Metrology

Bithear a’ cleachdadh uidheamachd meatrach gus tomhasan agus feartan an wafer a thomhas rè a’ phròiseas saothrachaidh.Tha clach-ghràin na stuth air leth freagarrach airson an uidheamachd seo a thogail leis gu bheil e àrd stiffness, leudachadh ìosal, agus glè bheag deformation fo luchd.A bharrachd air an sin, tha seasmhachd teirmeach clach-ghràin a’ dèanamh cinnteach gu bheil an uidheamachd meata-eòlais fhathast seasmhach agus ceart thar ùine.

Ann an co-dhùnadh, tha an gnìomhachas semiconductor an urra ri mionaideachd agus mionaideachd, agus tha stuthan clach-ghràin air a bhith air leth earbsach agus seasmhach sa phròiseas saothrachaidh.Le mòran de phàirtean deatamach san t-siostam gluasaid wafer a dh’ fheumas àrd seasmhachd, mionaideachd, agus leudachadh teirmeach ìosal, tha innleadairean air tionndadh gu stuthan clach-ghràin gus coinneachadh ris na riatanasan riatanach sin.