Ann an raointean saothrachaidh àrd-inbhe agus rannsachadh saidheansail ùr-nodha, ’s e àrd-ùrlar gluasad fleòdraidh èadhair le cuideam statach mionaideach an uidheamachd as cudromaiche airson obrachadh fìor mhionaideach a choileanadh. ’S e am bonn mionaideachd clach-ghràin am prìomh phàirt taiceil den àrd-ùrlar, agus tha a choileanadh ceangailte gu dlùth ris an àrainneachd obrach. Chan e a-mhàin gun urrainn tuigse agus coinneachadh ris na riatanasan àrainneachdail seo dèanamh cinnteach à obrachadh àrd-mhionaideach an àrd-ùrlair, ach cuideachd pàirt chudromach den iomairt gus a farpaiseachd a neartachadh ann an raointean co-cheangailte, a tha air a mhìneachadh gu mionaideach gu h-ìosal.
1. Teòthachd: smachd mionaideach gus dèanamh cinnteach à seasmhachd tomhasach
Ged a tha clach-ghràin ainmeil airson a sheasmhachd, chan eil a cho-èifeachd leudachaidh teirmeach neoni, agus faodaidh atharrachaidhean beaga teòthachd buaidh a thoirt air a chruinneas tomhasach fhathast. San fharsaingeachd, tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach clach-ghràin 5-7 ×10⁻⁶/℃. Ann an suidheachadh tagraidh àrd-ùrlar gluasad fleòdraidh èadhair cuideam statach mionaideach, tha an t-atharrachadh beag seo air a mheudachadh leis an àrd-ùrlar, agus dh’ fhaodadh seo leantainn gu diall ann an cruinneas gluasaid. Mar eisimpleir, ann am pròiseas saothrachaidh sliseagan leth-chonnsachaidh, am pròiseas litografaidh airson riatanasan cruinneas suidheachaidh ìre danami, faodaidh caochlaideachd teòthachd àrainneachdail de 1 ° C, fad taobh bonn clach-ghràin 1 meatair 5-7 micron de leudachadh no giorrachadh loidhneach a thoirt gu buil, a tha gu leòr gus gluasad pàtran litografaidh sliseagan a dhèanamh, an toradh a lughdachadh. Mar sin, bu chòir teòthachd àrainneachd obrach air leth freagarrach an àrd-ùrlar fleòdraidh èadhair cuideam statach mionaideach uidheamaichte le bonn mionaideachd clach-ghràin, a bhith air a smachdachadh gu teann aig 20 ° C ± 1 ° C, faodaidh iomairtean siostam fionnarachaidh-àile teòthachd seasmhach àrd-chruinneas a chuir a-steach, sùil a chumail air an teòthachd àrainneachdail agus an atharrachadh gu ceart gu leantainneach, meud bonn a’ chlach-ghràin a chumail seasmhach, gus dèanamh cinnteach gu bheil an àrd-ùrlar ag obair gu mionaideach.
2. taiseachd: smachd reusanta, dìon coileanadh a’ bhunait
Tha buaidh mhòr aig taiseachd cuideachd air bunaitean clach-ghràin mionaideach. Ann an àrainneachd àrd taiseachd, tha clach-ghràin furasta ceò uisge a ghabhail a-steach, agus dh’ fhaodadh gum bi dùmhlachd air an uachdar, rud nach cuir bacadh air obrachadh àbhaisteach an t-siostam snàmh adhair a-mhàin, ach a dh’ adhbhraicheas bleith fad-ùine uachdar a’ chlach-ghràin cuideachd, a’ lughdachadh a chruinneas agus a bheatha seirbheis. A’ gabhail bùth-obrach bleith lionsan optigeach mar eisimpleir, ma tha an taiseachd nas àirde na 60% RH airson ùine mhòr, sgriosaidh an ceò uisge a thèid a ghlacadh air uachdar bunait a’ chlach-ghràin aonfhoirmeachd film snàmh adhair, agus mar thoradh air sin lùghdaichidh cruinneas bleith lionsan agus lochdan uachdar. Mar sin, feumar smachd a chumail air taiseachd coimeasach na h-àrainneachd obrach eadar 40% -60% RH. Faodaidh iomairtean dì-taiseadairean, mothachairean taiseachd agus uidheamachd eile a chleachdadh gus sùil a chumail air an taiseachd ann an àm fìor, àrainneachd taiseachd iomchaidh a chruthachadh airson bunait clach-ghràin mionaideach, agus dèanamh cinnteach à obrachadh seasmhach àrd-ùrlar gluasad snàmh adhair cuideam statach mionaideach.
3. glanachd: smachd teann, cuir às do bhacadh mìrean
’S e mìrean duslach “nàmhaid” àrd-ùrlar gluasad snàmhach èadhair le cuideam statach mionaideach, agus nì iad cron mòr air bunait mionaideachd clach-ghràin. Cho luath ‘s a thèid na mìrean beaga bìodach a-steach don bheàrn film gas eadar an sleamhnag snàmhach gas agus bunait a’ chlach-ghràin, faodaidh iad cunbhalachd film a’ chlach-ghasa a sgrios, suathadh a mheudachadh, agus eadhon uachdar a’ bhunait a sgrìobadh, a’ toirt buaidh mhòr air cruinneas gluasad an àrd-ùrlair. Anns a’ bhùth-obrach innealachaidh ultra-chruinn de phàirtean aerospace, ma thuiteas na mìrean duslach san adhar air bunait a’ chlach-ghràin, faodaidh slighe gluasaid an inneil innealachaidh a bhith air a chlaonadh, a’ toirt buaidh air cruinneas innealachaidh nam pàirtean. Mar sin, bu chòir an raon obrach a chumail glan agus ìre glanaidh de 10,000 no eadhon nas àirde a ruighinn. Faodaidh iomairtean mìrean duslach san adhar a shìoladh a-mach le bhith a’ stàladh sìoltachain èadhair àrd-èifeachdais (HEPA), agus iarraidh air luchd-obrach aodach gun duslach, còmhdach bhrògan, msaa. a chaitheamh, gus an duslach a thig bho dhaoine a lughdachadh, agus àrainneachd obrachaidh àrd-chruinneas bunait clach-ghràin agus àrd-ùrlar gluasad snàmhach èadhair le cuideam statach mionaideach a chumail suas.
4. Crith: Dealachadh èifeachdach gus àite rèidh a chruthachadh
Cuiridh crith bhon taobh a-muigh bacadh mòr air cruinneas an àrd-ùrlair fleòdraidh èadhair cuideam statach mionaideach, ged a tha comas lughdachadh crith sònraichte aig bonn clach-ghràin mionaideach, ach faodaidh an crith àrd-neart a chrìoch maothachaidh a bhriseadh fhathast. Tha an crith a thig bhon trafaic timcheall air an fhactaraidh agus obrachadh uidheamachd meacanaigeach mòr air a thar-chuir chun bhunait clach-ghràin tron talamh, a chuireas bacadh air cruinneas gluasad an àrd-ùrlair. Ann an CMM àrd-ìre, faodaidh crith adhbhrachadh gum bi an conaltradh eadar an probe tomhais agus am pìos obrach a thèid a thomhas neo-sheasmhach, agus mar thoradh air sin bidh dàta tomhais a’ dol à bith. Gus an duilgheadas seo fhuasgladh, feumar ceumannan èifeachdach airson aonaranachd crith a ghabhail os làimh, leithid padaichean aonaranachd crith a chuir sìos anns an raon stàlaidh uidheamachd, bunait aonaranachd crith a thogail, no siostam aonaranachd crith gnìomhach a chleachdadh gus crith bhon taobh a-muigh a chothromachadh gu gnìomhach, agus àrainneachd obrach shàmhach agus sheasmhach a chruthachadh airson bonn clach-ghràin mionaideach agus àrd-ùrlar gluasad fleòdraidh èadhair cuideam statach mionaideach.
Coinnich ris na riatanasan àrainneachdail gu h-àrd, gus làn chothrom a thoirt do bhuannachdan bunait mionaideachd clach-ghràin anns an àrd-ùrlar gluasad fleòdraidh èadhair cuideam statach mionaideach, gus dèanamh cinnteach gu bheil an àrd-ùrlar a’ toirt seachad seirbheisean smachd gluasad àrd-chruinneas agus àrd-sheasmhachd do dhiofar ghnìomhachasan. Ma dh’ fhaodas iomairtean aire a thoirt do na mion-fhiosrachadh sin san àrainneachd cinneasachaidh, glacaidh iad an cothrom ann an saothrachadh mionaideach, rannsachadh saidheansail agus raointean eile, neartaichidh iad am farpaiseachd, agus coileanaidh iad leasachadh seasmhach.
Àm puist: 10 Giblean 2025